ديناميكيات الإزالة الليزرية CO2
تعمل ليزرات CO2 من Hitachi ضمن الطول الموجي تحت الأحمر من 9.4 إلى 10.6 μm، ما يجعلها عالية الكفاءة في تبخير العوازل العضوية مع انعكاسها طبيعياً عن وسادة النحاس السفلية. وهذا يخلق طبقة توقف مثالية لبنى 1+N+1 و2+N+2 ويتيح إنجاز ميكروفيا بقطر 0.10 mm بسهولة.



