Il calcolo ad alte prestazioni (HPC) e l'accelerazione AI richiedono soluzioni di packaging che trascendano le capacità tradizionali dei flip-chip organici. Il substrato portante CoWoS di grado industriale funge da fondamento critico nel packaging 2.5D, collegando l'interposer in silicio a passo fine con il PCB di sistema. A differenza dei substrati di grado consumer, le varianti industriali privilegiano l'affidabilità a lungo termine, il rigoroso controllo della deformazione (warpage) sotto cicli termici e un'integrità del segnale superiore per l'integrazione di memoria ad alta larghezza di banda (HBM).
Presso APTPCB (APTPCB PCB Factory), osserviamo che l'implementazione di successo di CoWoS (Chip-on-Wafer-on-Substrate) dipende dall'interazione precisa tra l'interposer in silicio e il portante organico. Questa guida illustra le specifiche, le regole di produzione e i protocolli di risoluzione dei problemi necessari per progettare un robusto substrato portante CoWoS di grado industriale.
Risposta Rapida (30 secondi)
Per gli ingegneri che valutano i requisiti di packaging 2.5D, il substrato portante CoWoS di grado industriale è definito dalla sua capacità di gestire la disomogeneità del Coefficiente di Espansione Termica (CTE) tra un grande interposer in silicio e la scheda di sistema.
- Materiale del nucleo: Materiali di build-up ad alto Tg (temperatura di transizione vetrosa > 260°C) (come il film di build-up Ajinomoto - ABF) sono obbligatori per supportare circuiti a linea fine.
- Limite di deformazione (Warpage): La deformazione dinamica deve essere mantenuta al di sotto di 50µm a temperature di reflow per prevenire la non-bagnatura o il bridging dei bump C4.
- Numero di strati: Tipicamente richiede strutture di interconnessione ad alta densità (HDI) 6-2-6 o superiori per instradare un numero massiccio di I/O dall'interposer.
- Controllo dell'impedenza: È richiesta una tolleranza rigorosa di ±5% per le interfacce SerDes e HBM ad alta velocità.
- Affidabilità: Deve superare oltre 1000 cicli di test di cicli di temperatura (TCT) da -55°C a 125°C senza fatica dei microvia.
- Validazione: L'ispezione ottica automatizzata (AOI) al 100% e i test elettrici sono non negoziabili per i gradi industriali.
Quando si applica (e quando no) il substrato portante CoWoS di grado industriale
Comprendere il caso d'uso specifico per questo substrato avanzato previene la sovra-ingegnerizzazione o guasti catastrofici sul campo.
Quando utilizzare il substrato portante CoWoS di grado industriale
- Cluster di addestramento AI: Quando si integrano GPU/TPU di grandi dimensioni con più stack HBM dove la densità di banda supera i limiti standard del flip-chip.
- Switch di rete di fascia alta: Per ASIC di switch che richiedono una throughput >50 Tbps, rendendo necessaria un'interfaccia PCB interposer HBM3 di grado industriale.
- CPU di grado server: Quando la dimensione del die supera il limite del reticolo, richiedendo un'architettura a die diviso (chiplet) su un interposer di silicio.
- Ambienti industriali difficili: Applicazioni che richiedono una durata operativa estesa (oltre 10 anni) sotto carichi termici fluttuanti, distinti dall'elettronica di consumo.
- Integrazione di processi misti: Quando si combinano logica (5nm) e die I/O o analogici (28nm) su un singolo interposer che richiede un carrier unificato.
Quando NON usarlo
- Dispositivi IoT a basso numero di pin: Il wire-bond standard o il CSP (Chip Scale Package) sono significativamente più convenienti.
- Processori mobili consumer: Sebbene avanzati, i chip mobili spesso utilizzano la tecnologia substrato fan-out RDL di grado industriale (InFO) per ridurre l'altezza Z e i costi, piuttosto che CoWoS.
- Interfacce di memoria DDR standard: Il routing DIMM tradizionale su PCB standard è sufficiente; CoWoS è eccessivo a meno che non sia coinvolta la HBM.
- Circuiti analogici sensibili al costo: A meno che non si tratti di un PCB driver laser di grado industriale specializzato che richiede una gestione termica estrema, il FR-4 standard è sufficiente.
- Prototipi a ciclo di vita breve: I costi NRE (Non-Recurring Engineering) e i tempi di consegna per i substrati CoWoS sono proibitivi per i prototipi usa e getta.
Regole e specifiche

La progettazione di un substrato portante CoWoS di grado industriale richiede l'adesione a rigorose regole fisiche ed elettriche. La deviazione da queste spesso porta a una perdita di resa di assemblaggio.
| Regola | Valore/Intervallo consigliato | Perché è importante | Come verificare | Se ignorato |
|---|---|---|---|---|
| Passo dei bump (C4) | 130µm - 150µm | Corrisponde al passo standard dei bump degli interposer in silicio. | Profilometria ottica / AOI 3D | Cortocircuiti o giunti aperti durante il reflow. |
| Larghezza/Spazio della linea (L/S) | 8µm/8µm a 12µm/12µm | Necessario per instradare segnali ad alta densità fuori dall'ombra dell'interposer. | Analisi della sezione trasversale (SEM) | Errore di instradamento del segnale; incapacità di uscire dall'I/O. |
| Spessore del nucleo | 0.8mm - 1.2mm (Alto Modulo) | Fornisce rigidità meccanica per minimizzare la deformazione durante l'assemblaggio. | Micrometro / Sezione trasversale | Deformazione eccessiva che porta a difetti a "sorriso" o "pianto". |
| Materiale dielettrico | Bassa perdita (Df < 0.005 @ 10GHz) | Essenziale per le migliori pratiche CXL SI di grado industriale e per le linee dati ad alta velocità. | TDR (Riflettometria nel Dominio del Tempo) | Attenuazione del segnale; perdita di integrità dei dati ad alte velocità. |
| Diametro del via (Laser) | 40µm - 60µm | Consente interconnessioni verticali ad alta densità tra gli strati di costruzione. | Ispezione a raggi X | Errori di registrazione dei via; guasti di breakout. |
| Finitura superficiale del pad | ENEPIG o SOP (Saldatura sul Pad) | Assicura una formazione intermetallica affidabile con i bump di saldatura senza piombo. | XRF (Fluorescenza a raggi X) | Sindrome del pad nero; giunti di saldatura deboli. |
| CTE (x, y) | 12 - 17 ppm/°C | Tarato per colmare il divario tra l'interposer in Si ( |
TMA (Analisi Termomeccanica) | Fatica del giunto di saldatura; delaminazione dell'underfill. |
| Planarità (Globale) | < 100µm su tutto il substrato | Critico per una pressione uniforme durante il processo di fissaggio del chip. | Interferometria Shadow Moiré | Crepatura del die; legame non uniforme del materiale di interfaccia termica (TIM). |
| Tolleranza di impedenza | 85Ω / 100Ω ± 5% | Corrisponde ai requisiti delle coppie differenziali per PCIe Gen5/6 e NVLink. | Test del coupon di impedenza | Riflessione del segnale; aumento del tasso di errore di bit (BER). |
| Spessore del rame | 12µm - 18µm (Build-up) | Bilancia la capacità di trasporto di corrente con la capacità di incisione a linea sottile. | Sezione trasversale | Sovra-incisione (aperture) o sotto-incisione (cortocircuiti). |
| Registrazione della maschera di saldatura | ± 15µm | Previene l'invasione della maschera di saldatura sui pad. | AOI | Scarsa bagnabilità; difetti di sfere di saldatura. |
| Compatibilità con l'underfill | Capace di flusso capillare | Assicura un underfill privo di vuoti tra interposer e substrato. | C-SAM (Microscopia acustica) | Vuoti che portano a punti caldi e guasti meccanici. |
Fasi di implementazione

Il passaggio dalla progettazione a un substrato portante CoWoS di grado industriale finito comporta una sequenza precisa. APTPCB raccomanda il seguente flusso di lavoro per garantire la producibilità.
Definizione dello stackup e selezione dei materiali
- Azione: Definire il numero di strati (es. 4+2+4) e selezionare i materiali core/prepreg.
- Parametro chiave: Scegliere un materiale core con un alto Modulo di Young (>25 GPa) per resistere alla deformazione.
- Controllo di accettazione: Verificare la corrispondenza del CTE con la scheda tecnica specifica dell'interposer in silicio.
Simulazione dell'integrità del segnale
- Azione: Simulare i percorsi critici per la perdita di inserzione e la perdita di ritorno, concentrandosi sulle migliori pratiche SI CXL di grado industriale.
- Parametro Chiave: Obiettivo: perdita di ritorno di -10dB fino alla frequenza di Nyquist.
- Controllo di Accettazione: Rapporto di simulazione che dimostra la conformità agli standard di interfaccia (es. PCIe, HBM).
Layout e Instradamento (Strategia di Fuga)
- Azione: Instradare l'array denso di bump C4 al passo BGA più ampio sul lato inferiore.
- Parametro Chiave: Mantenere piani di riferimento coerenti per evitare discontinuità di impedenza.
- Controllo di Accettazione: DRC (Design Rule Check) superato al 100% senza violazioni su L/S minimo.
Revisione DFM con il Fabbricante
- Azione: Inviare i file Gerber al produttore per un'analisi DFM dettagliata.
- Parametro Chiave: Controllare i rapporti d'aspetto dei via laser e l'equilibrio della densità di placcatura.
- Controllo di Accettazione: Approvazione del rapporto EQ (Engineering Question) e dei file di produzione finali. Utilizza il nostro Visualizzatore Gerber per pre-controllare i tuoi file.
Fabbricazione del Substrato (Processo di Accumulo)
- Azione: Eseguire il processo semi-additivo (SAP) o il processo semi-additivo modificato (mSAP) per linee sottili.
- Parametro Chiave: Controllare l'uniformità dello spessore della placcatura entro ±10%.
- Controllo di Accettazione: AOI intermedio dopo ogni strato di accumulo per rilevare precocemente cortocircuiti/aperture.
Test Elettrico (O/S)
- Azione: Eseguire test al 100% con sonda volante o fixture sul substrato finito.
- Parametro Chiave: Resistenza di isolamento > 10 MΩ.
- Controllo di accettazione: Zero difetti di apertura/cortocircuito ammessi per spedizioni di grado industriale.
Misurazione dell'imbarcamento e Imballaggio
- Azione: Misurare l'imbarcamento dinamico a temperatura ambiente e a temperatura di rifusione (260°C).
- Parametro chiave: Imbarcamento < 50µm (o requisito specifico per l'attacco del die).
- Controllo di accettazione: Superato/Fallito in base agli standard JEDEC; confezionare sottovuoto con essiccante.
Audit di qualità finale
- Azione: Esaminare le sezioni trasversali e la qualità della finitura superficiale.
- Parametro chiave: Verifica dello spessore del composto intermetallico (IMC).
- Controllo di accettazione: Certificato di Conformità (CoC) rilasciato.
Modalità di guasto e risoluzione dei problemi
Anche con un design robusto, possono sorgere problemi durante l'assemblaggio dell'interposer al substrato portante CoWoS di grado industriale.
1. Apertura non bagnata (NWO)
- Sintomo: Aperture elettriche rilevate dopo la rifusione; i bump C4 non riescono a connettersi ai pad del substrato.
- Cause: Eccessivo imbarcamento dinamico del substrato o dell'interposer durante il profilo di rifusione; ossidazione dei pad.
- Controlli: Eseguire l'analisi Shadow Moiré per mappare l'imbarcamento rispetto alla temperatura. Controllare la durata di conservazione della finitura superficiale.
- Soluzione: Regolare il profilo di rifusione (tempo di ammollo); utilizzare un nucleo portante più rigido; ricuocere il substrato per rimuovere l'umidità.
- Prevenzione: Simulare l'imbarcamento durante la fase di progettazione dello stackup; imporre specifiche di planarità rigorose.
2. Head-in-Pillow (HiP)
- Sintomo: Il bump di saldatura poggia sulla pasta del pad ma non si fonde, creando una connessione intermittente.
- Cause: Deformazione (warpage) che causa il sollevamento del bump dalla pasta durante la fase liquida, per poi ricadere mentre si raffredda, senza bagnarsi.
- Controlli: Analisi in sezione trasversale; ispezione a raggi X con angoli obliqui.
- Soluzione: Ottimizzare la chimica della pasta (attività del flussante); utilizzare dispositivi di supporto localizzati durante il reflow.
- Prevenzione: Far corrispondere più strettamente il CTE del substrato all'interposer; ridurre le dimensioni del substrato se possibile.
3. Delaminazione dell'Underfill
- Sintomo: La microscopia acustica (C-SAM) mostra vuoti o separazione tra l'interposer e il substrato.
- Cause: Contaminazione da residui di flussante; materiale di underfill incompatibile; degassamento di umidità dal substrato.
- Controlli: Imaging C-SAM; verificare l'efficienza del processo di pulizia del flussante.
- Soluzione: Migliorare la pulizia del flussante; cuocere i substrati per 4-8 ore prima dell'assemblaggio; selezionare un underfill con migliori proprietà di adesione.
- Prevenzione: Qualificare precocemente la compatibilità dei materiali (flussante vs. underfill vs. maschera di saldatura).
4. Cricche da Fatica nelle Microvia
- Sintomo: Aumenti intermittenti della resistenza o circuiti aperti dopo il funzionamento sul campo con cicli termici.
- Cause: Disallineamento dell'espansione sull'asse Z tra la placcatura in rame e il materiale dielettrico; legame rame-rame debole.
- Controlli: Monitoraggio della resistenza durante il TCT; sezionamento trasversale delle vie difettose.
- Correzione: Aumentare la duttilità della placcatura in rame; usare le strutture via impilate con cautela (sfalsate sono spesso migliori per lo stress).
- Prevenzione: Usare materiali dielettrici a basso CTE; implementare test di affidabilità rigorosi (es. 1000 cicli -55/125°C).
5. Degradazione dell'integrità del segnale
- Sintomo: BER (Bit Error Rate) elevato sui collegamenti HBM o PCIe; i diagrammi a occhio sono chiusi.
- Cause: Disadattamento di impedenza; eccessiva rugosità superficiale del rame; diafonia nel routing a passo fine.
- Controlli: Misurazione TDR; analisi VNA (Vector Network Analyzer).
- Correzione: Riprogettare con un controllo di impedenza più stretto; usare una lamina di rame più liscia (VLP/HVLP).
- Prevenzione: Utilizzare le migliori pratiche CXL SI di livello industriale durante il layout; verificare con Calcolatore di Impedenza.
6. Cratering del pad
- Sintomo: La resina sotto il pad di rame si frattura, sollevando il pad e il bump.
- Cause: Eccessivo stress meccanico durante la manipolazione, l'attacco del dissipatore di calore o lo shock termico.
- Controlli: Test dye-and-pry; sezione trasversale.
- Correzione: Aumentare leggermente la dimensione del pad; usare design di pad a "goccia"; ottimizzare la pressione di montaggio del dissipatore di calore.
- Prevenzione: Usare resina con maggiore tenacità alla frattura; evitare di posizionare pad critici in angoli ad alto stress.
Decisioni di progettazione
Fare le scelte giuste all'inizio della fase di progettazione di un substrato portante CoWoS di livello industriale consente di risparmiare tempo e costi.
Costruzione con nucleo vs. senza nucleo
- Substrati con anima: Utilizzano un nucleo centrale rinforzato in vetro.
- Vantaggi: Maggiore rigidità, manipolazione più semplice, minore deformazione.
- Svantaggi: Maggiore altezza Z, limita la densità dei via nel nucleo.
- Verdetto: Preferiti per applicazioni CoWoS industriali di grandi dimensioni dove il controllo della deformazione è fondamentale.
- Substrati senza anima: Costruiti interamente da strati dielettrici.
- Vantaggi: Prestazioni elettriche superiori (percorsi più brevi), profilo più sottile.
- Svantaggi: Alto rischio di deformazione, manipolazione difficile.
- Verdetto: Utilizzare solo se l'altezza Z è un vincolo rigoroso e gli attrezzi di assemblaggio possono gestire la deformazione.
Selezione dei materiali: Standard vs. Bassa perdita
- Film di accumulo standard: Sufficiente per logica digitale e I/O a bassa velocità.
- Materiale a bassa perdita (ad es. ABF a basso Df): Obbligatorio per i progetti di PCB interposer HBM3 di grado industriale e SerDes ad alta velocità (>28 Gbps).
- Decisione: Dare sempre priorità ai materiali a bassa perdita per le applicazioni CoWoS che coinvolgono HBM o interconnessioni ad alta velocità per minimizzare la perdita di inserzione. Fare riferimento alla nostra Guida ai materiali per valori specifici di Dk/Df.
Finitura superficiale: ENEPIG vs. SOP
- ENEPIG (Nichel chimico Palladio chimico Oro ad immersione): Finitura universale, buona per il wire bonding e la saldatura.
- SOP (Saldatura su Pad): Saldatura pre-applicata sui pad del substrato.
- Decisione: SOP è sempre più popolare per i carrier CoWoS a passo fine in quanto aiuta a compensare piccoli problemi di coplanarità e assicura una migliore formazione dei giunti.
FAQ
D1: Qual è il tempo di consegna tipico per un substrato carrier CoWoS di grado industriale? I tempi di consegna standard vanno da 6 a 10 settimane a causa della complessità del processo di costruzione e dei rigorosi test. I servizi accelerati possono ridurre questo tempo a 4-5 settimane, ma comportano costi aggiuntivi significativi.
D2: In che modo il substrato carrier CoWoS differisce da un substrato FC-BGA standard? I substrati CoWoS richiedono larghezze/spaziature delle linee molto più fini (spesso <10µm) e un controllo della planarità più rigoroso per ospitare il grande interposer in silicio, mentre i substrati FC-BGA standard montano il die direttamente e hanno tolleranze più ampie.
D3: APTPCB può produrre substrati per l'integrazione di chiplet? Sì, supportiamo progetti di PCB bridge per chiplet di grado industriale e carrier interposer completi, garantendo la stretta registrazione richiesta per l'allineamento multi-die.
D4: Qual è il numero massimo di strati supportato? Possiamo produrre substrati ad alta densità con un numero di strati superiore a 18 (ad esempio, strutture 8-2-8), a seconda dei vincoli di spessore e dei rapporti di aspetto.
D5: Perché la deformazione è una specifica così critica? L'interposer in silicio è grande e fragile. Se il substrato carrier si deforma significativamente durante il reflow, provoca uno stress che può rompere l'interposer o portare a giunti di saldatura aperti (difetti NWO/HiP). D6: Supportate materiali ad alta velocità per PCIe Gen 6? Assolutamente. Utilizziamo materiali avanzati come Panasonic Megtron 6/7/8 o film di build-up a bassa perdita equivalenti per soddisfare i requisiti di perdita di inserzione. Controlla le nostre capacità Megtron PCB.
D7: Qual è il passo minimo dei bump che potete gestire? Per il lato del substrato portante (bump C4), gestiamo tipicamente passi fino a 130µm. Per l'RDL lato superiore sull'interposer (che non fabbrichiamo, ma a cui ci colleghiamo), i passi sono molto più fini (40µm).
D8: Come garantite l'affidabilità per le applicazioni industriali? Aderiamo agli standard IPC-6012 Classe 3 ove applicabile, eseguendo cicli termici estesi, HAST (Highly Accelerated Stress Test) e test di vibrazione su richiesta.
D9: Il controllo dell'impedenza è diverso per i substrati CoWoS? I principi sono gli stessi, ma le dimensioni sono più piccole. Utilizziamo risolutori di campo per calcolare l'impedenza per linee sottili e verifichiamo con TDR su coupon di test.
D10: Potete assistere con il layout del substrato? Sebbene ci concentriamo principalmente sulla produzione, il nostro team di ingegneri fornisce un supporto DFM approfondito per ottimizzare il vostro layout per resa e prestazioni.
D11: Qual è il fattore di costo per questi substrati? Il numero di strati, la densità dei via ciechi e il grado del materiale di build-up (ABF) sono i principali fattori di costo. La perdita di resa dovuta a specifiche rigorose influisce anche sul prezzo.
D12: Come posso richiedere un preventivo per un progetto CoWoS? Fornite i vostri file Gerber, i requisiti di stackup e la BOM. Utilizzate la nostra Pagina di Preventivo per un caricamento sicuro.
Pagine e strumenti correlati
Per assistere il vostro processo di progettazione, utilizzate queste risorse APTPCB:
- Linee guida DFM: Regole di progettazione dettagliate per substrati di packaging avanzati.
- Calcolatore di Impedenza: Verificate la larghezza e la spaziatura delle vostre tracce per linee da 50Ω/100Ω.
- Servizi di Produzione PCB: Panoramica delle nostre capacità, dal prototipo alla produzione di massa.
Glossario (termini chiave)
| Termine | Definizione |
|---|---|
| CoWoS | Chip-on-Wafer-on-Substrate. Una tecnologia di packaging 2.5D in cui i chip sono montati su un interposer di silicio, che viene poi montato su un substrato portante organico. |
| Interposer | Uno strato intermedio (solitamente in Silicio) con TSV che collega più die (logica, memoria) al substrato portante. |
| Substrato Portante | Il substrato di packaging organico (PCB) che supporta l'interposer e lo collega alla scheda di sistema principale. |
| TSV | Through-Silicon Via. Connessione elettrica verticale che attraversa completamente un wafer o un die di silicio. |
| C4 Bump | Controlled Collapse Chip Connection. I bump di saldatura che collegano l'interposer al substrato portante. |
| Microbump (µ-bump) | Piccolissimi urti di saldatura che collegano i die attivi (GPU/HBM) all'interposer. |
| RDL | Strato di Ridistribuzione. Strati metallici sull'interposer o sul substrato che instradano i segnali da un punto all'altro. |
| CTE | Coefficiente di Dilatazione Termica. La velocità con cui un materiale si espande con la temperatura; la disomogeneità causa stress. |
| HBM | Memoria ad Alta Larghezza di Banda. Die di memoria impilati collegati tramite l'interposer, che richiedono un routing ad alta densità. |
| Underfill | Materiale epossidico iniettato tra il die/interposer e il substrato per distribuire lo stress meccanico e proteggere gli urti. |
| ABF | Film di Accumulo Ajinomoto. Un materiale dielettrico dominante utilizzato nei substrati di accumulo ad alta densità. |
| SerDes | Serializzatore/Deserializzatore. Blocchi di comunicazione ad alta velocità che richiedono una rigorosa integrità del segnale sul substrato. |
Conclusione
Il substrato portante CoWoS di grado industriale non è solo un supporto passivo; è un componente attivo nella catena di integrità del segnale e affidabilità meccanica dei sistemi ad alte prestazioni. Che tu stia progettando per server AI di prossima generazione o robusti controllori industriali, il margine di errore è microscopico.
Il successo richiede un equilibrio tra le proprietà dei materiali, una rigorosa DFM e un'esecuzione di produzione precisa. APTPCB porta decenni di esperienza nell'interconnessione ad alta densità per garantire che i tuoi progetti di packaging avanzato vengano lanciati senza problemi di resa. Pronto a convalidare il tuo progetto? Contatta il nostro team di ingegneri oggi stesso per una revisione DFM o un preventivo rapido.